Који ултра-високи захтеви чистоће регулишу гасне цеви?
Стандарди полу Ф72 за површинску завршну обраду . пресвлачење<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μм). Садржај влаге<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Како припремљени завари за дистрибуцију гаса?
Орбитално заваривање са ултра-високом чистоћом аргоном . двоструко прослеђивање заваривања за критичне линије . 25μм РА . пасива са азотном киселином . коначном испирањем са 18,2 мΩ · цм воде.
Које тестирање потврђује интегритет гасне цеви?
Испитивање хелијумског цурења на 1 × 10⁻⁹ АТМ-ЦЦ / СЕЦ . Анализа заосталог гаса за контаминацију . анализа влаге . Анализа влаге . Коначна сертификација . Коначна сертификација .
Како се на дистрибутивним системима прикључени на дистрибутивне системе?
ВЦР-а за бртве за бртве за цурење уским спојевима . прочишћена секундарна задржавања . двоструким зидама за опасне гасове . Ограничених протока .
Које одржавање спречава контаминацију гасова?
Годишњи тестирање пропуштања свих веза . Надгледање честица током промена гаса . Редовна провера квалитета гаса . Одржавање вентила . Стриктни процедуре контроле промјене .
